MEMS 压力传感器基础知识一

发布时间：2025-04-26 00:23:45 浏览次数：67 作者：[!--writer--] 来源：[!--befrom--]

摘要：MEMS 微机电系统简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，再形象一点说就是做一个微米纳米级的机械系统，这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号。MEMS 压力传感器就是这样一种微型机电系统，具有电源，接口电路，执行器，微传感器和信号处理等系统。