发表时间：2025-11-08浏览次数：174
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全自动探针台 | |||||||||||||||||||||
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| 产品名称 | 全自动探台针 |
| 产品型号 | P8/P12 |
| 晶圆规格参数 | 6 / 8 / 12英寸 .厚度300-1000㎛ |
| Die Size | 300-76000㎛ |
| 设备行程 | X:0-350mm；Y:0-800mm，Z:0-70mm |
| 设备精度/分辨率 | X Y Z ≤2㎛ / 0.1㎛ |
| XYZ轴最大运行速度 | 260mm/s |
| Theta参数 | 范围：±5° / 精度0.001° |
| 机台尺寸 | 2*1.8*1.8m（长宽高） |
| 机台重量 | 2600kg |
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